为深入实施首台（套）重大技术装备保险补偿试点工作，推动重大技术装备创新发展，结合国家重大工程和国民经济发展需求，在广泛听取各地工业和信息化主管部门、相关行业协会、企业意见的基础上，工业和信息化部组织修订完成了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2016年版）》并于近日正式发布。新版《指导目录》包含清洁高效发电装备、超（特）高压输变电装备、大型石油石化及煤化工成套装备、大型冶金矿山装备及港口机械、轨道交通装备、大型环保及资源综合利用装备、大型施工机械、新型轻工机械、民用航空装备、高技术船舶及海洋工程装备、成形加工装备、新型大马力农业装备、电子及医疗专用装备、重大技术装备关键配套基础件等14类重大技术装备，自1月3日起实施，《指导目录（2015年第二版）》同时废止。

        记者了解到，对于电子专用装备，新版《指导目录》包含半导体材料生产装备、太阳能电池生产装备、高亮度发光二极管生产装备、集成电路生产装备、平板显示器生产装备、片式元件生产装备、锂离子电池生产装备、印制电路板生产装备、其它电子专用装备及关键配套件等9大子类别。其中，集成电路生产装备涉及化学气相沉积（CVD）硅外延设备、介质刻蚀机、高密度等离子刻蚀机、高速介质刻蚀机、化合物刻蚀机、物理气相薄膜沉积（PVD）装备、金属硬掩膜沉积（HM PVD）装备、离子注入机、原子层沉积设备（ALD）、分布重复投影光刻机、匀胶显影机、清洗设备、化学研磨设备、立式氧化炉、光学测量设备、硅片单面抛光机（CMP）、铜化学机械抛光CMP设备、全自动单片去胶清洗机、离子束沉积设备、等离子体表面处理设备（DESCUM）、单片退火装备、紫外光后处理装备、金属硅化物薄膜沉积装备、立式低压化学气相沉积系统、集成电路封装在线等离子清洗机等29种设备。